壓力傳感器主要應用在汽車各種壓力的測量中：

主要用于測量氣囊壓力、燃油壓力、發動機油壓、進水管壓力和輪胎壓力等。該傳感器以單晶硅為材料，利用MEMS技術，在材料的中間制造出力敏感膜片，然后在膜片上擴散雜質，形成四個應變電阻，再通過惠斯頓電橋連接成電路，獲得高靈敏度。

        汽車上使用的MEMS壓力傳感器有電容式、壓阻式、差動變壓器式和聲表面波式等幾種常見形式。”MEMS加速度計原理以牛頓經典力學定律為基礎，一般由懸掛系統和檢測質量組成，通過硅質量塊的偏移來實現對加速度的檢測，主要應用于汽車氣囊系統、防滑系統、導航系統和防盜系統等，除電容式、壓阻式外，MEMS加速度計還具有壓電式、隧道電流式、諧振式和熱電偶式等形式。而電容式MEMS加速度計由于其靈敏度高，溫度對測量精度影響小，是MEMS微加速度計的主流產品。

微型陀螺是一種角速率傳感器，主要應用于汽車導航GPS信號補償和汽車底盤控制系統，其中包括振動式、轉子式等多種傳感器。

大多數的振動陀螺是利用單晶硅或多晶硅的振動質量塊在被基座驅動旋轉時所產生的哥氏效應來感測角速度的。舉例來說，汽車轉彎時，系統通過陀螺儀測量角速度，以決定轉向是否到位，主動地在內側或外側車輪上加適當的制動，以防止汽車脫離車道，通常，這種系統與低加速度計組成主動控制系統。

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