力傳感器、溫度傳感器是傳感器行業(yè)應(yīng)用最廣泛的幾種傳感器。在當(dāng)今快節(jié)奏的人類社會,由于科學(xué)和工程技術(shù)的迅速發(fā)展,古典物理量的監(jiān)測在不同行業(yè)的技術(shù)應(yīng)用中出現(xiàn)了高頻率和不同維度的應(yīng)用要求。
本文通過對壓阻式壓力傳感器技術(shù)、應(yīng)用和產(chǎn)品的分析,分享了一些相關(guān)原理和概念。
壓力傳感器。
在測量中,壓力是物理學(xué)中的壓力,是反映物質(zhì)狀態(tài)的重要參數(shù)。在壓力測量中,有表壓、絕壓(絕壓)、負(fù)壓、真空度。工業(yè)上使用的壓力指示值大多是表壓,也就是絕對壓力和大氣壓力的區(qū)別,所以絕壓是表壓和大氣壓之和。測量壓力低于大氣壓時,稱為負(fù)壓或真空度。
測壓傳感器在工作原理上可分為壓阻壓力傳感器、壓電壓力傳感器、壓磁壓力傳感器、電容壓力傳感器、霍爾壓力計等。
壓阻式壓力傳感器。
半導(dǎo)體應(yīng)變片式傳感器在實際應(yīng)用中稱為壓阻式壓力傳感器,壓阻式壓力傳感器是初期利用半導(dǎo)體應(yīng)變片粘貼在彈性體上制作的。上世紀(jì)70年代后期,研發(fā)出周邊固定的敏感電阻和硅膜一體化擴(kuò)散型電阻壓力傳感器,克服了粘貼帶來的滯后、蠕變和固有頻率低、整合困難的缺點,將應(yīng)變電阻和誤差補(bǔ)償、信號調(diào)整等電路整合到硅片上。
壓阻式壓力傳感器的主要特點是結(jié)構(gòu)尺寸小,重量輕,易于整合,靈敏度高,分辨率高,適用于微壓檢測。但由于是半導(dǎo)體硅膠材料,對溫度比較敏感,如果不進(jìn)行溫度補(bǔ)償,溫度誤差會比較大。
壓阻式壓力傳感器的應(yīng)用。
壓阻式壓力傳感器具有一系列優(yōu)點,廣泛應(yīng)用于航天、航海、石化、醫(yī)療設(shè)備、氣象、軍事裝備。
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