如今，人工智能的發(fā)展日新月異，應(yīng)用領(lǐng)域也十分豐富，人們在生活、醫(yī)療等方面都可以看到人工智能技術(shù)的身影，例如神經(jīng)檢測，可以使用meas壓力傳感器來檢測，理想的情況是，神經(jīng)探針陣列應(yīng)該具有良好的生物相容性，高密度電極具有高信噪比，通過柔性電纜實(shí)現(xiàn)互連，高度集成的電子構(gòu)架，以及驅(qū)動(dòng)電極柄實(shí)現(xiàn)神經(jīng)元運(yùn)動(dòng)跟蹤的集合微執(zhí)行器。

人腦通過它的神經(jīng)元活動(dòng)來協(xié)調(diào)我們的感覺，思想和行為。神經(jīng)系統(tǒng)學(xué)家們正在努力理解大腦的功能，他們采用的方法可以在行為過程中分離、識(shí)別和操縱單神經(jīng)元和單峰神經(jīng)元。不僅在胞外記錄、腦機(jī)接口(BMI)和深部腦刺激劑(DBS)方面取得了成功，而且在腦電圖、神經(jīng)元功能恢復(fù)和腦部疾病研究等方面的一些新的應(yīng)用也取得了進(jìn)展。

要想在大腦的許多區(qū)域中大規(guī)模地記錄單個(gè)神經(jīng)元，神經(jīng)探針需要高密度，大量的電極。令人遺憾的是，最新的高密度CMOS神經(jīng)探針有一個(gè)巨大的“手柄”，該探針將被植入大腦區(qū)域。這一“手柄”部分必須盡可能細(xì)，以避免干擾或破壞正常的腦功能，目前，它們還沒有神經(jīng)學(xué)家所期望的那么小。此外，現(xiàn)有的電子設(shè)計(jì)體系并不完善。該探頭由許多小型主動(dòng)電極組成，用于放大和緩沖神經(jīng)信號(hào)。CMOS像素放大器(PA)位于電極下極小的空間，信號(hào)處理必須在探針基座上完成，因?yàn)闆]有足夠的空間。設(shè)想這種非理想信號(hào)路由中的噪聲問題，理想的情況是信號(hào)處理過程與PA相靠近。

光機(jī)meas壓力傳感器，我們從meas的壓力傳感器設(shè)計(jì)開始。本實(shí)用新型具有電容式和壓電式兩種結(jié)構(gòu)，體積小，性能良好。另外，光纖傳感器具有超靈敏度高、噪聲小等特點(diǎn)，但在低集成度設(shè)計(jì)體系中使用效果最好。

目前，我們將上述兩種傳感器的特性結(jié)合在一起，形成一個(gè)集成的傳感器，即meas光機(jī)械壓力傳感器。這種器件可以提供比壓電和電容傳感器更高的靈敏度和良好的噪聲特性，但封裝尺寸是一樣的。

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